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MF6600系列气体质量流量计应目前市场需求而开发,采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁、干燥气体。长久以来,转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制,但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。MF6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计,实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项
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